圖形化晶圓缺陷檢查方案

發(fā)布者： 發(fā)布時(shí)間：1970-01-01 分享：

硬件：菲涅爾光電遠(yuǎn)心鏡頭或者遠(yuǎn)心線掃鏡頭，adimec相機(jī)，三色同軸點(diǎn)光源，定制版顯微鏡筒；

難點(diǎn)：1、色差控制，因需要多色光源，分別照射樣品。如果色差控制不準(zhǔn)，會(huì)出現(xiàn)虛焦現(xiàn)象。對(duì)機(jī)臺(tái)的一致性有巨大威脅。

          2、提升掃描速度，如何快速發(fā)現(xiàn)缺陷，并識(shí)別缺陷類型；

方案：通過(guò)大靶面遠(yuǎn)心面陣鏡頭或者線掃鏡頭，快速掃描晶圓，確定缺陷位置；再通過(guò)高倍顯微系統(tǒng)識(shí)別缺陷類型，確定樣品的OK或者NG

優(yōu)勢(shì)：1、菲涅爾光學(xué)提供高倍率大靶面的遠(yuǎn)心面陣或者遠(yuǎn)心線掃鏡頭，優(yōu)秀的色差控制，可以簡(jiǎn)化檢測(cè)流程，實(shí)現(xiàn)多光譜檢測(cè)；2、提供高分辨率，同時(shí)有較大視野，實(shí)現(xiàn)晶圓快速掃描，發(fā)現(xiàn)缺陷位置。3、定制科勒照明顯微鏡筒搭配高倍顯微物鏡，輕易的識(shí)別缺陷類型。

菲涅爾光學(xué)鏡頭的色差控制均在12um以內(nèi)，十分符合三色光源檢查或者四色光源檢查的條件。優(yōu)秀的色差控制，使得機(jī)臺(tái)不用二次對(duì)焦，降低機(jī)臺(tái)開發(fā)難度，提高了檢查效率。

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