SIC,GaN襯底缺陷檢測

發(fā)布者： 發(fā)布時間：1970-01-01 分享：

常規(guī)檢查項目；微管，掉落，坑，撞，粒子，刮傷

硬件：微分干涉顯微鏡組，線掃相機，消色差遠心鏡頭，暗場光源

難點：外延片上多種類型缺陷，需要一一識別；不同缺陷有不同的表現(xiàn)，大部分缺陷類型可以通過微分干涉顯微的方式識別，部分缺陷需要遠心鏡頭＋暗場打光識別；

方案：菲涅爾光學(xué)提供多種倍率的微分干涉顯微系統(tǒng)，目前有3.5倍，5倍，7倍，10倍，20倍等多種方案，滿足絕大多數(shù)缺陷檢測需求。最高分辨率可以達到0.5um，并且能夠識別各種缺陷，有良好的表現(xiàn)形式；遠心鏡頭＋暗場打光，對于刮傷類缺陷有非常好的識別效果；

優(yōu)勢：菲涅爾光學(xué)生產(chǎn)的微分干涉系統(tǒng)經(jīng)過多方市場驗證，明暗對比效果最優(yōu)。對于外延，襯底都有非常明顯的識別效果

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